MCL165

潔凈室搬運(yùn)機(jī)器人

適用于潔凈室內(nèi)大型重物的搬運(yùn)。*大負(fù)載重達(dá)165KG，潔凈度達(dá)到ISO6級(jí)。

潔凈室搬運(yùn)機(jī)器人

負(fù)載：165KG

動(dòng)態(tài)范圍：2650mm

控制柜：DX100

用途：搬運(yùn)、半導(dǎo)體、潔凈室

特點(diǎn)

大負(fù)載：165KG

大動(dòng)作范圍：*大水平伸長達(dá)2650mm,動(dòng)作*大高度達(dá)3130mm。

潔凈度達(dá)到ISO6級(jí)，可實(shí)現(xiàn)高度柔性的系統(tǒng)布局。

*1：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)

*2：潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下，來確保整個(gè)潔凈室的潔凈度。

*3：根據(jù)用途、作業(yè)形式會(huì)有所不同。